Фізика та технологія діодів Шотткі та імпульсних діодів

Abstract

В навчальному посібнику розглянута загальна теорія контакту метал-напівпровідник, будова, фізичні основи роботи, параметри і характеристики діодів Шотткі та методи їх виміру, проаналізовано залежність параметрів від різних технологічних факторів. Обговорюються переваги та недоліки діодів Шотткі у порівнянні з діодами з р-n переходом.

Розглянуто технологічні маршрути виготовлення структур діодів Шотткі за планарно- епітаксіальною і ізопланарною технологіями та проаналізовано основні проблеми, що

виникають при використанні даних технологій. Розглянуто та проаналізовано методи покращення параметрів діодів Шотткі за рахунок використання операцій гетерування . Також в навчальному посібнику розглянута теорія імпульсних діодів з р-n переходом. Наведена фізика роботи імпульсного діода, технологія виготовлення та її проблеми, методи підвищення швидкодії діодів. Розглянуто основні складові зворотного стуму діодів та технологічні методи зниження його рівня . Наведені та проаналізовані основні методи хімічної обробки поверхні р-n структур.