ДОСЛІДЖЕННЯ ТЕХНОЛОГІЧНИХ ПРОЦЕСІВ У ВИРОБНИЦТВІ СТРУКТУР КРЕМНІЄВИХ ДІОДІВ І СОНЯЧНИХ ЕЛЕМЕНТІВ

Abstract

У навчальному посібнику розглянуті основні технологічні методи виготовлення структур кремнієвих діодів та сонячних елементів. Проаналізовано основні технологічні операції виготовлення діодних структур. Проведено дослідження технологічних операцій та процесів: отримання р - n переходів за допомогою термодифузії при виготовлені структур кремнієвих діодів та сонячних елементів, дифузійні процеси в кремнії при відпалі плівки нікелю, процес дифузії бору в кремній з твердого джерела В2О3 в вакуумі. В роботі проведено аналіз основних видів структурних дефектів в кремнії та методів гетерування для їх ліквідації. Наведені конкретні приклади використання гетерування за допомогою плівок халькогенідних стекол з метою зниження рівня зворотних струмів кремнієвих діодів та підвищення відсотка придатних приладів.