Аннотации:
У навчальному посібнику розглянуті основні технологічні методи виготовлення структур кремнієвих діодів та сонячних елементів. Проаналізовано основні технологічні операції виготовлення діодних структур. Проведено дослідження технологічних операцій та процесів: отримання р - n переходів за допомогою термодифузії при виготовлені структур кремнієвих діодів та сонячних елементів, дифузійні процеси в кремнії при відпалі плівки нікелю, процес дифузії бору в кремній з твердого джерела В2О3 в вакуумі. В роботі проведено аналіз основних видів структурних дефектів в кремнії та методів гетерування для їх ліквідації. Наведені конкретні приклади використання гетерування за допомогою плівок халькогенідних стекол з метою зниження рівня зворотних струмів кремнієвих діодів та підвищення відсотка придатних приладів.
Описание:
Навчальний посібник призначений для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за спеціальністю 141 Електроенергетика, електротехніка та електромеханіка. Посібник може бути корисним для науково-педагогічних працівників навчальних закладів вищої освіти за відповідною спеціальністю.